化学气相沉积合成硅纳米球

我打算以硅烷和氢气为前驱体合成硅纳米球，但是不知道具体工艺参数。比如管式炉的温度应该设置为多少，硅烷和氢气的流量该设置为多少，沉积多久也不清楚。有没有大佬帮帮忙啊，导师催论文催得紧，我现在连材料都还没合成，试验方案也还没弄出来。我要死了，查文献也没给合成的具体参数