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为什么要选择光阻固化呢?

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传统制程(硬烤)在蚀刻时,此过程造成光阻剂图形的损坏及碳化引起脱离困难的
异常状况,採用UV固化+硬烤时则可避免此异常发生#UV光阻固化#光阻


IP属地:广东来自iPhone客户端1楼2023-09-06 15:01回复