晶圆光阻固化#固化#固化#【半导体吧】_百度贴吧

03月23日漏签0天

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晶圆光阻固化#固化#固化#

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传统制程(硬烤)在蚀刻时，此过程造成光阻剂图形的损坏及碳化引起脱离困难的
异常状况，採用UV固化+硬烤时则可避免此异常发生 #UV光阻固化#光阻#

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来自iPhone客户端1楼2023-08-18 16:46回复

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