真空机组是由主真空泵，前级真空泵、真空阀，除尘及干燥设备，连接导管等组成的用以获得一定的真空度的设备。常用的有机械增压泵机组，油增压泵机组，油扩散泵机组等。

　　(一)机械增压泵机组
　　这种机组由机械增压泵作主泵，前级泵为容积式真空泵或大气喷射泵及水环泵。这种机组启动快，抽速大，广泛用于冶金，化工，轻工和医药等，工业中由一次罗茨泵和大气喷射泵、水环泵、气镇式机械泵联合工作的低真空机组，其中一级罗茨泵直接和大气喷射泵及水环泵串联使用，最低工作压强可达266．6~899．9Pa。
　　(二)油增压泵机组
　　由油增压泵作主泵，前级泵由小型增压泵(大型机组)和容积式真空泵，真空伐等组成，工作压力范围为13．33~0．188Pa．它的结构简单操作维护方便广泛用于冶金和化学工业中。
　　(三)水环泵低真空抽气机组
　　这种机组是以水环式真空泵作为主体并辅以气体分离器及热交换器等必要的附助设备。可用于粗真空，抽气量大的工艺流程中。其特点是结构简单，制造容易，工作可靠，使用方便，耐久性强，可以抽腐蚀性气体，含灰尘的气体和气水混合的。极限真空度还可达到更高。被抽气体温度以-20~40℃为宜。
　　(四)水环大气喷射泵低真空系统
　　这种系统的抽气设备包括空气引射器及水环泵，其特点与水环泵低真空抽气机组类似，但极限真空可更赢些。