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2025-03-20
求助 CVD合成Si纳米球化学吧
以硅烷为前驱体氢气为载气，合成硅纳米球。我查文献得知硅烷好像是剧毒，然后用LPCVD...
2025-03-19
化学气相沉积合成硅纳米球化学吧
有没有大佬知道怎么用化学气相沉积法合成硅纳米球啊。我打算用硅烷和氢气作为前驱体合...
2025-03-19
化学气相沉积合成硅纳米球纳米材料吧
我打算以硅烷和氢气为前驱体合成硅纳米球，但是不知道具体工艺参数。比如管式炉的温度...